De Micro Cirrus™ is specifiek ontworpen om kleine vernevel deeltjes te produceren met een massa-mediaan diameter (MMD) van 1.2 micron om op alveolair niveau in de longen aan te komen. Bij een gas flow van 8 L/min is 90% van de deeltjes kleiner dan 2 micron in diameter om alveolaire depositie te kunnen bereiken.